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ODS For Micro LED
Cold plasma technology，Modular Design！
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2021
半導(dǎo)體行業(yè)-ODS
國產(chǎn)高濃度，大流量，無氮添加臭氧系統(tǒng)！
Application:
● TEOS-O3 Process CVD；
● ALD for High-K dielectric deposition;
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2021

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